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Die Erfindung dient der Verringerung der Breite von Temperaturschwankungen einer zikulierenden Vorrichtung aufgrund einer Variation der Wärmelast einer externen Vorrichtung, um das Betriebsverhalten der externen Vorrichtung zu stabilisieren. In einer Konstanttemperatur-Flüssigkeitszirkuliervorrichtung, die eine Rohrleitung der zirkulierenden Flüssigkeit in einer externen Vorrichtung zwischen einem Auslassanschluss und einem Rückführanschluss einer Leitung zur Förderung der zirkulierenden Flüssigkeit auf einer konstanten Temperatur durch eine Pumpe verbindet, sind ein Strömungsmengensensor und Temperatursensoren zur Erfassung der Auslasstemperatur der zirkulierenden Flüssigkeit, die aus der Leitung austritt, und der Rückführtemperatur der zirkulierenden Flüssigkeit, die wieder zu der Leitung zurückgeführt wird, vorgesehen. Die Strömungsmenge und die Temperatur der zirkulierenden Flüssigkeit werden durch eine Steuerung entsprechend der Wärmelast der externen Vorrichtung gesteuert, die auf der Basis der Ausgabewerte und Temperatursensoren erhalten wird. Die Steuerung erfolgt so, dass dann, wenn die Differenz zwischen der Auslasstemperatur und der Rückführtemperatur kleiner ist als der voreingestellte Wert, die Temperatur der zirkulierenden Flüssigkeit entsprechend der Wärmelast gesteuert wird. Ist die Temperaturdifferenz größer als der voreingestellte Wert, so wird die Temperatur der zirlulierenden Flüssigkeit entsprechend der Wärmelast gesteuert, indem die Strömungsmenge ...
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