Verfahren zur Integration funktioneller Nanostrukturen in mikro- und nanoelektrische Schaltkreise

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung mindestens einer Nanostruktur (9) auf einem Substrat (17). Es sollen auf besonders einfache und wirksame Weise lange Strecken überbrückt und verzweigte Strukturen geschaffen werden. Dabei soll die erzeugte Nanostruktur (9) ein Vielfaches der Länge eines einzelnen Nanoobjekts aufweisen. Die Aufgabe wird durch einen Multielektrodenaufbau (11) gelöst, bei dem die hervorstehenden Elektrodenbereiche Elektrodenfinger (21) sind, die von der Elektrode abgewandten Enden (5) derart entlang einer Linie angeordnet sind, dass die Elektrodenfinger (21) nicht ineinander greifen und bei dem mindestens drei Elektroden (1; 13, 15) ausgebildet sind. Es erfolgt ein dielektrophoretisches Abscheiden separater Nanoobjektansammlungen (7) jeweils entlang der Linie zwischen den benachbarten Enden (5). Auf diese Weise können besonders vorteilhaft lange Nanostrukturen hergestellt werden.