Technik zum Erzeugen einer unterschiedlichen mechanischen Verformung mittels Kontaktätzstoppschichtstapels mit einer dazwischen liegenden Ätzstoppschicht

摘要

Die vorliegende Erfindung stellt eine Technik zum Herstellen unterschiedlich verspannter Kontaktätzstoppschichten bereit, wobei Seitenwandabstandselemente vor der Herstellung der Kontaktätzstoppschichten entfernt werden. Während des teilweisen Entfernens entsprechender Kontaktätzstoppschichten wird ein entsprechendes Schema mit Ätzstoppschichten verwendet, um damit im Wesentlichen unerwünschte spannungserzeugende Materialreste zu vermeiden, wodurch der Spannungsübertragungsmechanismus deutlich verbessert wird.