| 主权项 |
1.一种霍尔效应量测装置,其至少包含: 一测试槽,具有一槽孔,其用于提供一保温隔热的 空间; 一组磁铁单元,由一永久性磁铁及一导磁铁片所组 成,互相平行设置于该测试槽外部的两边,其用于 提供一均匀化的磁场;及 一样品单元,具有复数个电极及一样品座,其垂直 放置于该测试槽的槽孔内部,用于作为该霍尔效应 量测装置之样品治具。 2.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置, 其中该测试槽可置入一液态氮以实现低温的测量 环境。 3.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置, 其中该一组磁铁单元可提供50 mT~0.2 T的均匀磁场 。 4.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置, 其中该样品单元系可反转以测得不同磁场方向之 霍尔效应。 5.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置, 其中该复数个电极电性连接于复数个外部电极接 点。 6.如申请专利范围第6项所述之霍尔效应量测装置, 其中该复数个外部电极接点可电性连接电流源、 电压源、伏特计及安培计。 7.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置, 其中该样品座用于放置一待测物。 8.如申请专利范围第8项所述之霍尔效应量测装置, 其中该待测物上的复数个电极需电性连接于该样 品单元之复数个电极。 9.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置, 其中该复数个电极数目为6时系为六点量测(Hall bar )。 10.如申请专利范围第1项所述之霍尔效应量测装置 ,其中该复数个电极数目为4时系为四点量测(Van der Panw)。 图式简单说明: 第1图显示传统霍尔效应量测系统架构示意图; 第2图显示为本创作实施例之霍尔效应量测装置之 侧视示意图; 第3图显示为显示样品单元之侧视示意图; 第4图显示为待测物为六点量测(Hall bar)时之示意 图; 第5图显示为样品单元之前视示意图;以及 第6图显示为样品单元之俯视示意图。 |
