| 主权项 |
1.一种电流量测装置,尤指适用于任何微小载具当 中之传输电流之量测,包括有: 至少一第一电阻层,系供待测电流流通其中并产生 热量; 一微小间隙,系介于第一电阻层于第二电阻层间; 至少一第二电阻层,系感应由第一电阻层透过间隙 传入的热量引起温度变化所产生的电阻变化量,并 藉温度与电阻値变化量而换算出待测电流値。 2.如申请专利范围第1项所述之电流量测装置,其中 该第一电阻层包含一电流输入端及一电流输出端 。 3.如申请专利范围第1项所述之电流量测装置,其中 该微小间隙系30M、50M、200M,或依量测电流 范围变换适当宽度。 4.如申请专利范围第1项所述之电流量测装置,其中 该第一电阻层系微型加热器。 5.如申请专利范围第1项所述之电流量测装置,其中 该第二电阻层系微型温度感测器。 6.如申请专利范围第1项所述之电流量测装置,其中 该第一电阻层及第二电阻层系于一晶片底板上以 沉积金属之方式所形成。 7.如申请专利范围第6项所述之电流量测装置,其中 该晶片底板系玻璃、石英或高分子材料,例如:压 克力(PMMA)、聚碳酸酯(PC)或聚二甲矽氧烷(PDMS)。 8.如申请专利范围第6项所述之电流量测装置,其中 该沉积金属方法系蒸镀法或溅镀法。 9.如申请专利范围第6项所述之电流量测装置,其中 该金属系Pt/Cr或Pt/Ti,而以Pt/Cr为较佳。 图式简单说明: 图一系为本发明之结构示意图。 图二系为本发明之电流量测装置在不同间隙宽度 下,温度对电流关系图。 图三系为本发明之电流量测装置在不同间隙宽度 下,电阻对电流关系图。 |
