发明名称 场发射显示器之电子发射源表面活化的方法
摘要 一种场发射显示器之电子发射源表面活化的方法,在阴极结构制作并高温烧结后,进行电子发射源表面活化制作,利用喷涂技术此喷涂技术包括有一具有喷涂装置,该喷涂装置利用高压空气将予以喷涂的溶液均匀喷涂灌汪于阴极结构之表面上,此时溶液将覆盖闸极电极层,并由穿孔及凹陷区域渗入于电子发射源表面上,以形成一喷涂披覆层,再使其乾燥膜后,利用滚筒式脱膜装置进行脱膜处理,此滚筒式脱膜装置具有两滚筒,前述之其一滚筒内具有加热单元,在滚压阴极结构之披覆层时,该滚筒先对披覆层进行加热软化,让另一滚筒可以轻易将披覆层剥除。
申请公布号 TWI278894 申请公布日期 2007.04.11
申请号 TW094105204 申请日期 2005.02.22
申请人 东元奈米应材股份有限公司 发明人 陈国荣
分类号 H01J37/073(2006.01) 主分类号 H01J37/073(2006.01)
代理机构 代理人 谢佩玲 台北市大安区罗斯福路2段107号12楼
主权项 1.一种场发射显示器之电子发射源表面活化的方 法,用以活化电子发射源表面之方法包括有: a)、先取一烧结后之阴极结构; b)、利用一喷涂装置将溶液喷涂于上述阴极结构, 以形成一披覆层; c)、待,上述阴极结构上所形成之披覆层乾燥后,利 用一脱膜装置将阴极结构表面之披覆层脱模,以移 除阴极结构之电子发射源表面之残余碳材或有机 氧化物。 2.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该阴极结构为一 三极场发射显示器。 3.如申请专利范围第2项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该阴极结构至少 包括有一基板,于前述基板上形成有一电极层,此 电极层上形成有一介电层,于前述之介电层上形成 有一闸极电极层,于前述之闸极电极层上形成有一 穿孔,以及暴露电极层之凹陷区域,再利用奈米碳 管于电极层上形成有一电子发射源。 4.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该喷涂装置为一 高压空气填充灌。 5.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该喷涂装置为一 喷枪。 6.如申请专利范围第5项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该喷枪以高压空 气之压送方式将涂料雾化喷涂于阴极结构之电子 发射源表面上。 7.如申请专利范围第5项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该喷枪为了配合 使用涂布溶液及悬浮之固含量比例,选用之涂装喷 枪空气进气流量至少大于200 l/min。 8.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该溶液可调制PVA 或PVP之任一种溶液。 9.如申请专利范围第8项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该溶液之溶度为5% ~10%之水性溶液。 10.如申请专利范围第9项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该溶液之常温黏 度控制在1000cps以下。 11.如申请专利范围第9项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该溶液加热50~80℃ 后黏度可控制在500cps以下。 12.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,在喷涂过程中喷 涂装置需加热50~80℃。 13.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,在喷涂过程中阴 极结构需加热50~80℃。 14.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,该脱模装置为一 滚筒式脱模装置。 15.如申请专利范围第14项所述之场发射显示器之 电子发射源表面活化的方法,其中,该滚筒式脱膜 装置具有两滚筒,前述其一滚筒内具有加热单元, 在滚压阴极结构之披覆层时,该滚筒先对披覆层进 行加热软化。 16.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,为配合剥膜制程 需使贴覆之披覆层形成之特定厚度,可以为0.1~0.5mm 以利于脱膜。 17.如申请专利范围第1项所述之场发射显示器之电 子发射源表面活化的方法,其中,在于涂覆后之阴 极结构以60~80℃焙烤10~20分钟,俾使披覆层固化铸 形。 图式简单说明: 第一图,系本发明之阴极结构示意图。 第二图,系本发明之阴极结构喷涂溶液制作流程示 意图。 第三图,系本发明之阴极结构喷涂溶液制作流程完 成示意图。 第四图,系本发明之阴极结构表面披覆层进行剥除 处理示意图。
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