| 主权项 |
1.一种辐射敏感性树脂组成物,其特征为含有 (A)对于由具有羧基之自由基聚合性化合物(a)所产 生之构成单位1~40重量%,由具有苯酚性羟基之自由 基聚合性化合物(b-1)或由具有在共聚物合成后,可 转变成苯酚性羟基之官能基之自由基聚合性化合 物(b-2)所产生之苯酚性羟基之构成单位含有1~50重 量%,剩余部分为对于前述化合物(a)、(b-1)、(b-2)及 下述化合物(d)以下之其他的聚合性化合物(c)所产 生之构成单位之共聚物100重量份时,使具有环氧基 之自由基聚合性化合物(d)0.1~20重量份产生反应所 得之含不饱和基之硷可溶性树脂; (B)具有至少一个之乙烯性不饱和双键之化合物;及 (C)辐射线自由基聚合引发剂。 2.如申请专利范围第1项之辐射敏感性树脂组成物, 其中该自由基聚合性化合物(b-1)为-甲基-对羟基 苯乙烯。 3.一种金属图案之制造方法,其特征系使用如申请 专利范围第1或2项之辐射敏感性树脂组成物。 4.一种半导体装置之制造方法,其特征系使用如申 请专利范围第3项之方法所形成之金属图案。 |
