| 主权项 |
1.一种测定一通过一流量控制器之流量的方法,其 包含: 在一第一时间间隔期间收集关于第一体积之第一 资料; 在一第二时间间隔期间收集关于第二体积之第二 资料; 判定该第一体积;及 计算该流量。 2.如请求项1之方法,其中判定该第一体积包含计算 该第一体积。 3.如请求项2之方法,其中该第一体积基于该第一资 料及该第二资料来计算。 4.如请求项3之方法,其中该第一资料包括历经第一 时间间隔之压力变化,且该第二资料包括历经第二 时间间隔之压力变化。 5.如请求项4之方法,其中收集第二资料在收集第一 资料之前执行。 6.如请求项4之方法,其中收集第一资料在收集第二 资料之前执行。 7.如请求项1之方法,其中判定该第一体积包含接收 一输入。 8.如请求项7之方法,其中该第一资料包括历经第一 时间间隔之压力该变化,且该第二资料包括历经第 二时间间隔之压力变化。 9.如请求项8之方法,其中收集第二资料在收集第一 资料之前执行。 10.如请求项8之方法,其中收集第一资料在收集第 二资料之前执行。 11.一种测定一通过一流量控制器之流量的方法,其 包含: 在一第一时间间隔期间收集关于一第一体积之第 一资料;及 基于该第一资料计算该流量,其中该第一体积为预 先判定的或作为输入接收。 12.如请求项11之方法,其中该第一体积藉由以下步 骤预先判定: 在一第一时间间隔期间收集关于该第一体积之第 一资料; 在一第二时间间隔期间收集关于一第二体积之第 二资料;及 基于该第一资料及该第二资料计算该第一体积。 13.一种测定一通过一质流控制器之流量的方法,其 包含: 在一第一时间间隔期间收集关于一第一体积之第 一资料;及 基于该第一资料计算该流量,其中一第二体积为预 先判定的或作为输入接收。 14.如请求项13之方法,其中藉由以下步骤预先判定 该第二体积: 在一第一时间间隔期间收集关于该第一体积之第 一资料; 在一第二时间间隔期间收集关于该第二体积之第 二资料;及 基于该第一资料或该第二资料计算该第二体积。 15.一种用于测定一通过一流量控制器之流量的系 统,其中该系统在该流量控制器之下游处连结至该 流量控制器,该系统包含: 一腔室; 一在该腔室之上游处连结至该腔室之第一阀门; 一在该腔室之下游处连结至该腔室之第二阀门;及 一在该第一阀门之上游处连结至该腔室之压力感 应器。 16.如请求项15之系统,其中该系统可操作以用于: 在一第一时间间隔期间收集关于一第一体积之第 一资料;及 在一第二时间间隔期间收集关于一第二体积之第 二资料。 17.如请求项16之系统,其中该第一体积对应于该第 一阀门与该流量控制器之间的该体积,且该第二体 积对应于该第一体积及该腔室之一体积。 18.如请求项17之系统,其中该第一资料包括在该第 一时间间隔期间压力之该变化,且该第二资料包括 在该第二时间间隔期间压力之该变化。 19.如请求项18之系统,其中收集第二资料在收集第 一资料之前执行。 20.如请求项18之系统,其中收集第一资料在收集第 二资料之前执行。 21.如请求项18之系统,其中该系统可进一步操作以 用于: 判定该第一体积;及 计算该流量。 22.如请求项21之系统,其中该系统藉由基于该第一 资料及该第二资料之计算来判定该第一体积。 23.如请求项21之系统,其中该系统藉由接收一输入 来判定该第一体积。 24.一种测定一通过一质流控制器之流量的方法,其 包含: 在一第一时间间隔期间收集关于一第一体积之第 一资料; 计算一第一流量;及 基于一误差曲线调整该第一流量。 25.如请求项24之方法,其进一步包含判定该误差曲 线。 26.如请求项25之方法,其中判定该误差曲线包含将 一得出之误差曲线拟合一组误差点,该组误差点包 括一组已判定之误差点。 27.如请求项25之方法,其中每一所判定之误差点藉 由以下步骤判定: 在一第一设定点处于一第二时间间隔期间收集关 于该第一体积之第二资料,其中一阻塞孔处于一打 开位置; 基于该第二资料计算一第二流量; 在该第一设定点处于一第三时间间隔期间收集关 于该第一体积之第三资料,其中该阻塞孔处于一阻 塞位置; 基于该第三资料计算一第三流量;及 比较该第二流量与该第三流量。 28.如请求项27之方法,其中该阻塞孔可操作以用于 在处于该阻塞位置时生成一压力梯度,其中该阻塞 孔之上游处的压力约为该阻塞孔之下游处之压力 的两倍。 29.如请求项28之方法,其中该阻塞孔可操作以用于 当该第一设定点为至少500 sccm时生成该压力梯度 。 30.如请求项28之方法,其中该组所判定之误差点的 每一点表示当该第一设定点为至少500 sccm时之误 差。 31.如请求项30之方法,其中该组误差点包括一组所 观察之误差点。 32.如请求项26之方法,其中每一所观察之误差点藉 由以下步骤判定: 在一第二设定点处于一第四时间间隔期间收集关 于该第一体积之第四资料;及 基于该第四资料计算一第四流量。 33.如请求项32之方法,其中该组所观察之误差点的 每一点表示当该第二设定点为200 sccm或更少时之 误差。 34.如请求项26之方法,其中判定该误差曲线进一步 包含基于气体类型调整该误差曲线。 35.一种用于测定一通过一质流控制器之流量的系 统,其中该系统在该质流控制器之下游处连结至该 质流控制器,该系统包含: 一腔室; 一在该腔室之上游处连结至该腔室之第一阀门; 一在该腔室之下游处连结至该腔室之压力感应器; 及 一在该压力感应器之上游处连结至该腔室之阻塞 孔。 36.如请求项35之系统,其中该系统可操作以用于: 在一第一时间间隔期间收集关于一第一体积之第 一资料;及 计算一第一流量。 37.如请求项36之系统,其中该阻塞孔可操作以用于 生成一压力梯度,其中该阻塞孔之上游处的压力约 为该阻塞孔之下游处之该压力的两倍。 38.如请求项37之系统,其中计算该第一流量进一步 包含基于一误差曲线调整该第一流量。 39.如请求项38之系统,其中该系统可进一步操作以 用于判定该误差曲线。 40.如请求项39之系统,其中判定该误差曲线包含将 一得出之误差曲线拟合一组误差点,该组误差点包 括一组已判定之误差点。 41.如请求项40之系统,其中该系统可操作以用于藉 由以下步骤判定每一所判定之误差点: 在一第一设定点处于一第二时间间隔期间收集关 于该第一体积之第二资料,其中该阻塞孔处于一打 开位置; 基于该第二资料计算一第二流量; 在该第一设定点处于一第三时间间隔期间收集关 于该第一体积之第三资料,其中该阻塞孔处于一阻 塞位置; 基于该第三资料计算一第三流量;及 比较该第二流量与该第三流量。 42.如请求项40之系统,其中该组所判定之误差点的 每一点表示当该第一设定点为至少500 sccm时之误 差。 43.如请求项42之系统,其中该组误差点包括一组所 观察之误差点。 44.如请求项43之系统,其中该系统可操作以用于藉 由以下步骤判定每一所观察之误差点: 在一第二设定点处于一第四时间间隔期间收集关 于该第一体积之第四资料;及 基于该第四资料计算一第四流量。 45.如请求项44之系统,其中该组被观察之误差点的 每一点表示当该第二设定点为200 sccm或更少时之 误差。 46.如请求项45之系统,其中判定该误差曲线进一步 包含基于气体类型调整该误差曲线。 47.如请求项37之系统,其中该第一资料在该阻塞孔 处于该阻塞位置时收集。 48.如请求项47之系统,其中该阻塞孔为一个三通阀 门,其可操作以用于当该第一流量高于500 sccm时生 成该压力梯度。 49.一种测定一通过一质流控制器之流量的方法,其 包含: 在一第一时间间隔期间收集关于一第一体积之第 一资料,其中该第一资料在一阻塞孔处于一阻塞位 置时收集,且该阻塞孔可操作以用于当处于该阻塞 位置时生成一压力梯度,其中该阻塞孔之上游处的 压力约为该阻塞孔之下游处之该压力的两倍;及 计算一第一流量。 50.如请求项49之方法,其中该阻塞孔为一个三通阀 门,其可操作以用于当该第一流量高于500 sccm时生 成该压力梯度。 图式简单说明: 图1包括一用于藉由使用处理腔室来验证质流控制 器之习知先前技术系统的说明。 图2包括当在流量核对过程中利用一处理腔室时为 达成对于某些典型流动速率的压力变化所需之时 间的图表。 图3包括一用于质流控制器之验证之系统的一实施 例的方块图。 图4包括利用所描绘之方法的一实施例的作为时间 之函数之压力的图表。 图5至8包括描绘用以执行流量核对或验证质流控 制器之操作的方法的各种实施例的流程图。 图9包括一用于质流控制器之验证之系统的一实施 例的方块图。 图10包括一路径的几何形状之一实施例的方块图, 该路径为一质流控制器与一如图9中描绘之系统间 之路径。 图11包括一路径的几何形状之一实施例的方块图, 该路径为质流控制器与一如图9中描绘之系统间之 路径。 图12包括描绘一使用图9中描绘之系统来执行流量 核对或验证质流控制器之操作的方法的一实施例 之流程图。 |
