具有弹性基板的矩阵阵列装置

摘要

本发明揭示一种矩阵阵列装置，例如：主动矩阵显示装置、影像感测器等，其包括承载于一弹性基板(20)上之矩阵电路(12、14、16、18)，其中电路包含占据独立区域之半导体装置(12)阵列，诸如TFTs。所选择之远离半导体装置(12)之基板(20)区域构成弱区(areas of weakness)，俾增进基板之弹性，使得这些区域在装置弯曲时优先弯曲，故而降低对半导体装置之损害威胁。例如这些区域可包含弱线(50、52)(lines of weakness)，其延伸于半导体装置间，并可由局部薄化之基板构成，或藉由对基板材料之处理而改变其在预定区域之硬度。

主权项

1.一种弹性矩阵阵列装置,其包括在一弹性基板上 之薄膜矩阵电路,其中矩阵电路包含以规律矩阵配 置之薄膜半导体装置,其并占据基板之各独立区, 其中与薄膜半导体装置所占区域远离之基板选择 区包括弱区,在该处之基板较具弹性。 2.一种弯曲矩阵阵列装置,其包括在一弹性基板上 之薄膜矩阵电路,其中矩阵电路包含以规律矩阵配 置之薄膜半导体装置,其并占据基板之各独立区, 其中基板包括与薄膜半导体装置所占区域远离之 选择区域之弱区,装置之弯曲大体上可容纳在该区 之基板变形。 3.如申请专利范围第1或2项之装置,其中弱区包括 基板之局部较薄区。 4.如申请专利范围第3项之装置,其中局部较薄区系 经由对基板之选择性蚀刻形成。 5.如申请专利范围第3项之装置,其中基板包括一薄 片结构,其具至少两层,其中一层经图样化形成局 部薄区。 6.如申请专利范围第1或2项之装置,其中弱区包括 基板材料硬度较半导体装置所占基板区域低之基 板区域。 7.如申请专利范围第1项之装置,其中基板包括聚合 物材料。 8.如申请专利范围第1项之装置,其中弱区延伸为承 载半导体装置之基板区间弱线。 9.如申请专利范围第8项之装置,其中半导体装置系 以行列阵列配置,以及其中弱区包括沿阵列延伸于 半导体装置之列及/或行间。 10.如申请专利范围第1项之装置,其中基板承载半 导体装置之独立区较基板其他区域厚。 11.如申请专利范围第1或2项之装置,其中半导体装 置各包括形成一岛之半导体膜。 12.如申请专利范围第1或2项之装置,其中半导体装 置包括薄膜电晶体。 13.如申请专利范围第1或2项之装置,其中装置包括 一主动矩阵显示装置,其具显示像素,以及其中各 半导体装置均连结至承载于基板上之各像素电极 。 14.如申请专利范围第13项之装置,其中装置包括一 主动矩阵液晶显示装置,其包含另一弹性基板,固 接于承载矩阵电路之基板,而液晶材料系配置于基 板间。 15.如申请专利范围第14项之装置,其中另一基板具 有在该处形成之弱线。 图式简单说明: 图1系部份典型主动矩阵液晶显示装置电路概略图 示; 图2系部份已知主动矩阵液晶显示装置之概略横剖 图; 图3系在采用本发明之主动矩阵液晶显示装置之一 具体实施例中,部份主动矩阵基板概略平面图示; 图4及5分别系沿图3之线A-A与B-B之概略横剖图; 图6系在采用本发明之主动矩阵液晶显示装置之第 二具体实施例中,部份主动矩阵基板概略平面图示 ;以及 图7系沿图6之线C-C之横剖图。