| 主权项 |
1.一种光学元件之制造方法,其特征在于:其系于基 板上具有复数个金属线栅之光学元件之制造方法, 且利用LSP(Liquid Self-patterning Process)制造上述金属 线栅。 2.如请求项1之光学元件之制造方法,其中使用金属 奈米膏作为嵌入用膏,藉此形成上述金属线栅。 3.如请求项2之光学元件之制造方法,其中预先设有 形成凹部之抗蚀剂,该凹部用以嵌入金属奈米膏, 且于焙烧金属奈米膏时,于抗蚀剂凹部析出金属粒 子。 4.如请求项2或3之光学元件之制造方法,其中使用 包含两种以上金属之金属奈米膏作为嵌入用膏,制 造多元系金属线栅。 5.如请求项2之光学元件之制造方法,其中焙烧金属 奈米膏之后,重复LSP一次以上,制造多层金属线栅 。 6.如请求项2至5中任一项之光学元件之制造方法, 其中上述金属奈米膏含有选自由Al、Ag以及Au所组 成之群中之一种以上的金属。 7.如请求项1之光学元件之制造方法,其中制造用于 可见光谱之偏光器作为上述光学元件。 图式简单说明: 图1(a)至(e)系表示用于可见光谱之偏光器之制造方 法的一例的工序图。 图2(a)、(b)系具备含两种金属之线栅之用于可见光 谱的偏光器的一例。 |
