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发明名称 IMPEDANCE DETECTION APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0975982(B1) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 EP19990905244 申请日期 1999.02.19
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HIROTA, YOSHIHIRO;HARADA, MUNEO;MIYANO, TAKAYA
分类号 G01D5/24;G01R27/26;G01D5/14;G01D5/241;G01H11/06;G01L9/12;H04R5/04 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
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