METHOD AND APPARATUS OF PLASMA PROCESSING.,申请号EP20050748341-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS OF PLASMA PROCESSING.
摘要
申请公布号	EP1771592(A1)	申请公布日期	2007.04.11
申请号	EP20050748341	申请日期	2005.05.12
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	BRCKA, JOZEF
分类号	C23C14/04	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
主权项
地址

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