发明名称 APPARATUS FOR FORMING A SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20070038791(A) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 KR20050094075 申请日期 2005.10.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JIN YOUNG
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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