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发明名称
摘要
申请公布号 JP3904034(B2) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 JP19950299477 申请日期 1995.11.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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