| 发明名称 | 基板拱顶转动机构 | ||
| 摘要 | 提供一种在有限的空间内也能效率良好地进行转动机构的装配分解且维修性和作业性优良的真空装置。而且，由于防止基板拱顶的径向振动，防止由轴承产生的粉尘而引起污染，因而通过转动机构的薄型化使成膜精度提高。在由真空槽、固定在该真空槽内部的基座、安装在该基座上的转动机构以及搭载了成膜基板且通过转动机构而水平转动的基板拱顶组成的真空装置中，该转动机构形成可以沿着该真空槽底面方向从该基座进行拆装的结构。 | ||
| 申请公布号 | CN1946873A | 申请公布日期 | 2007.04.11 |
| 申请号 | CN200580013193.3 | 申请日期 | 2005.01.24 |
| 申请人 | 株式会社昭和真空 | 发明人 | 布施丰;阿部辰弥;泷本昌行;小室弘之;青名端一仁 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01) | 主分类号 | C23C14/50(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 田军锋;王爱华 |
| 主权项 | 1.一种真空装置，包括真空槽、固定在该真空槽内部的基座、安装在该基座上的转动机构以及搭载了成膜基板且通过该转动机构而水平转动的基板拱顶，其特征在于：形成可以沿着该真空槽底面方向从该基座上拆装该转动机构的结构。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||