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发明名称 A METHOD OF MANUFACTURING A SPUTTER TARGET
摘要
申请公布号 EP1592823(B1) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 EP20030714926 申请日期 2003.02.20
申请人 N.V. BEKAERT S.A. 发明人 VERMEERSCH, RUBEN;TE LINTELO, JOHANNES
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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