METHOD FOR RECYCLED SEPARATED WAFER AND RECYCLED SEPARATED WAFER,申请号EP20000977956-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR RECYCLED SEPARATED WAFER AND RECYCLED SEPARATED WAFER
摘要
申请公布号	EP1156531(A4)	申请公布日期	2007.04.11
申请号	EP20000977956	申请日期	2000.11.27
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED;S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES	发明人	KUWABARA, SUSUMU;MITANI, KIYOSHI;TATE, NAOTO;NAKANO, MASATAKE;BARGE, THIERRY;MALEVILLE, CHRISTOPHE
分类号	H01L21/306;H01L21/762;H01L21/02;H01L23/544;H01L27/12	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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