凸起形状测量装置及其方法

摘要

本发明提供结构简单并能迅速高精度测量导通连接所需的凸起参数的凸起形状测量技术和凸起形状测量装置，备有：对在由该载物台所移动的上述基板上所配置的凸起用对于上述基板的面有低倾斜角度的照明光轴进行照明的光学系统；用对于上述基板的面有比上述照明光低的倾斜角度高的倾斜角度的检测光轴聚光来自凸起的反射光来检测凸起的图像信号的检测光学系统；根据所检测并A/D变换过的凸起数字图像信号得到凸起的至少尖端部和底部的图像信号计算凸起的至少尖端部和底部的轮廓，根据该计算凸起的至少尖端部和底部的轮廓计算出凸起的至少位置和高度的组成几何学特征量的图像处理部；将该计算的有关凸起的几何学特征量的信息显示在显示装置上的主控制部。

主权项

1.一种凸起形状测量装置，其特征在于，包含有：载置配置了作为被测量对象物的多个凸起的基板并使其移动的载物台；对在由该载物台所移动的上述基板上所配置的凸起、用对于上述基板的面具有低倾斜角度的照明光轴进行照明的照明光学系统；用对于上述基板的面具有比上述照明光低的倾斜角度高的倾斜角度的检测光轴聚光来自由该照明光学系统所照明的凸起的反射光来检测凸起的图像信号的检测光学系统；对由该检测光学系统所检测的凸起的图像信号进行A/D变换、根据依据该A/D变换过的凸起数字图像信号所得到的凸起的至少尖端部和底部的图像信号、计算凸起的至少尖端部和底部的轮廓，根据该所计算出的凸起的至少尖端部和底部的轮廓、计算出由凸起的至少位置和高度组成的几何学的特征量的图像处理部；和将由该图像处理部所计算出的有关凸起的几何学的特征量的信息显示在显示装置上的主控制部。