发明名称 |
具多个浮置栅及一沟道连接区域的非挥发性存储器 |
摘要 |
一存储器单元(110)包含多个浮置栅(120L,120R)。沟道区域(170)包含多个次区域(220L,220R)与各自的浮置栅相邻,且包含位于浮置栅间的一连接区域(210)。连接区域具有与源极/漏极区域(160)相同的导电类型,以增加沟道导电性。因此,即使浮置栅间的内栅极介电层(144)变厚,使控制栅极(104)的沟道内电场减弱,浮置栅仍可靠近而放置在一起。 |
申请公布号 |
CN1945837A |
申请公布日期 |
2007.04.11 |
申请号 |
CN200610101123.X |
申请日期 |
2006.07.04 |
申请人 |
茂德科技股份有限公司(新加坡子公司) |
发明人 |
何月松;梁仲伟;金珍浩;伍国玨 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/788(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种集成电路,其包括:一包含一第一表面的半导体区,该半导体区于该第一表面包含一非挥发性存储器的二个源极/漏极区域,该二个源极/漏极区域具一第一导电类型,且该二个源极/漏极区域由一位于该半导体区内的沟道区域所分离开;多个导电浮置栅,形成于与该第一表面及该沟道区域相邻的该半导体区上;一导电栅,压在所述浮置栅上;以及一介电层,使该浮置栅与该导电栅及该半导体区相隔离;其中该沟道区域包含:多个沟道次区域,其具一与该第一导电类型相反的第二导电类型,各该沟道次区域与一各自的该浮置栅相邻;以及一具该第一导电类型的连接区域,与该第一表面相邻,该连接区域使所述沟道次区域中的二者互相连接,且状况(A)与状况(B)的至少一者为真:(A)该连接区域于该第一表面的净掺杂浓度较该二个源极/漏极区域的任一为低;(B)该连接区域较该二个源极/漏极区域的任一为浅。 |
地址 |
新加坡新加坡市 |