位置检测装置、测量机的倾斜传感器装置及位置测定方法

摘要

本发明提供一种位置检测装置，可以实现投影光学系统的光学结构小型化。本发明的位置检测装置包括：液体(7)，形成有自由表面(7a)；光源(2)，朝向自由表面(7a)照射光束；暗视场图案(4)，存在于光源(2)与液体(7)之间，在光束中形成图案；受光传感器(9)，检测由自由表面(7a)所反射的光束的图案；以及运算单元(11)，由受光传感器(9)的检测结果而计算图案的位置，并且，运算单元(11)在X方向与Y方向上将受光传感器(9)的检测结果相加，且根据在X方向与上述Y方向上相加的图案的排列来计算图案的位置。

主权项

1.一种位置检测装置，包括：液体，其形成有自由表面；光源，其朝向所述自由表面照射光束；暗视场图案，其存在于所述光源与液体之间，在光束中形成图案；受光传感器，其检测由上述自由表面所反射的光束的图案；以及运算单元，其根据所述受光传感器的检测结果而计算图案的位置，其特征在于：上述受光传感器中受光元件在X方向与Y方向上呈矩阵状配置，以及上述运算单元将上述受光传感器的检测结果在X方向与Y方向上相加，且根据在X方向与Y方向上相加所获得的输出，计算图案的位置。