| 发明名称 |
真空蒸镀装置 |
| 摘要 |
本实用新型公开一种真空蒸镀装置，其包括一真空腔、一喷头、一工作台和一扩散板。该喷头和该工作台在该真空腔内相对设置，该扩散板固定在该喷头上。 |
| 申请公布号 |
CN2887888Y |
申请公布日期 |
2007.04.11 |
| 申请号 |
CN200520120559.4 |
申请日期 |
2005.12.15 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
黄荣龙;彭家鹏;赖建廷;杨秋莲 |
| 分类号 |
C23C14/24(2006.01);C23C14/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种真空蒸镀装置，其包括一真空腔、一喷头、一工作台，该喷头和该工作台在该真空腔内相对设置，其特征在于：该真空蒸镀装置进一步包括一扩散板，该扩散板固定在该喷头上。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
