一种基于采用微光机电系统的振动测量装置

摘要

一种基于采用微光机电系统的振动测量装置，是由用于敏感振动的微光机电系统和信号处理电路组成，敏感振动的微光机电系统由单根探测光纤和硅基底上敏感振动的膜片组成，膜片敏感出振动信号，通过单探测光纤的读出方式将振动信号读取出来，再由同一单光纤传导至后续的信号处理电路，对敏感的信号进行光电转换、放大、滤波处理，提取出振动信号。其中微结构元件采用了在半导体基底上刻蚀而成的膜片结构，通过控制对半导体基底的加工工艺，改变膜片的悬臂梁结构、厚度、面积尺寸、形状、反射率以及表面褶皱的纹理，达到增强系统探测能力的目的。本发明能使探测装置敏感部分尺寸降到与光纤同一量级，具有功耗小、结构简单，易于实现的优点。

主权项

1、一种基于采用微光机电系统的振动测量装置，其特征在于：由用于敏感振动的微光机电系统和信号处理部分组成，敏感振动的微光机电系统由单根探测光纤和硅基底上敏感振动的膜片组成，膜片敏感出振动信号，通过单探测光纤的读出方式将振动信号读取出来，再由同一单光纤传导至后续的信号处理电路，对敏感的信号进行光电转换、放大、滤波处理，提取出振动信号。