辅助移动装置、承载装置及其总成

摘要

本发明涉及一种辅助移动装置、承载装置及其总成，用以移动并承载一基板总成，基板总成具有多个已切割的基板单元，基板单元黏附有基板废料。辅助移动与承载总成包含一辅助移动装置以及一承载装置。其中，辅助移动装置用以移动基板总成，并将基板总成移动至承载装置上，使承载装置得以承载该等基板单元，并使该等基板单元与基板废料相分离，避免该等基板单元于取料的过程中，因与废料相对滑动所造成的非预期性损伤，从而通过此治具提升了生产良率。

主权项

1.一种辅助移动装置，用以移动一基板总成，其特征在于，该装置包括：一平板，具有一第一面及与该第一面相对的一第二面，该平板上设有多个通气孔，自该第一面至该第二面延伸；以及一抽气装置，与至少部份该多个通气孔导通，动力导引气体自该第一面，经由该多个通气孔，沿该抽气装置导出，从而当该基板总成与该第一面相邻时，得以承受一朝向该第一面的真空吸附力。