对样品进行显微处理的组合工具

摘要

一种组合工具，包括对围绕可旋转的基板定位的样品进行显微处理的多个工具。基板上的样品座在该工具的工作区域之间转动样品。可滑动真空密封保持样品室中的真空，对要求真空的工具来说。

主权项

1.一种对样品进行显微处理的设备，包括：可围绕旋转轴旋转的基板；多个工具，包括至少一个在小于大气压的条件下对样品进行操作的带电粒子束工具，每个工具包括一个工作区域，将该工作区域定位在基本上以该旋转轴为中心的圆周上；定位在该圆周上的基板上的样品座，以便使该基板可旋转地将该样品座定位到该工具的工作区域中。