发明名称 各向异性导电薄膜的压痕检查方法
摘要 本发明涉及各向异性导电薄膜的压痕检查方法。本发明各向异性导电薄膜的压痕检查方法,其特征是,上述压痕检查方法是将压接有各向异性导电薄膜的部件的压痕,以影像提取,并检查连接有无缺陷,上述压痕检查方法包括如下步骤:部件材料供给步骤、调焦步骤、部件材料整列步骤、一次传送步骤、压痕影像捕捉步骤、二次传送步骤、压痕影像检查步骤、反复检查步骤以及结束检查步骤。
申请公布号 CN1945296A 申请公布日期 2007.04.11
申请号 CN200610073108.9 申请日期 2006.04.04
申请人 世联株式会社 发明人 李殷杓;金鲜中
分类号 G01N21/956(2006.01);G01N1/28(2006.01) 主分类号 G01N21/956(2006.01)
代理机构 北京润平知识产权代理有限公司 代理人 周建秋;王凤桐
主权项 1、一种各向异性导电薄膜的压痕检查方法,其特征是,所述压痕检查方法是将压接有各向异性导电薄膜的部件的压痕,以影像提取,并检查连接有无缺陷,所述压痕检查方法包括如下步骤:部件材料供给步骤(S10),其中将TAB、FOG、芯片的部件(52)利用各向异性导电薄膜(51)的粘结力预压接后用工具实施压接得到部件材料(5),将所述压接的部件材料(5)用卸装机(6)供给检查台(7);调焦步骤(S20),其中在所述检查台(7)上面放置由部件(52)和导电薄膜(51)构成的部件材料(5),在所述部件材料(5)的上面---导电薄膜(51)的表面调整第二照相机(16)的焦距;部件材料整列步骤(S30),其中从图像控制部(3)的数字输入/输出板(34)输出的整列信号,通过PLC控制部(4),驱动传送电机(41),整列放置有部件材料(5)的检查台(7);一次传送步骤(S40),其中根据所述PLC控制部(4)的信号,驱动传送电机(41),将放置有部件材料(5)的检查台(7)传送到一次检查位置;压痕影像捕捉步骤(S50),其中将传送到所述一次检查位置的部件材料(5)的压痕(53)通过第二照相机(16)捕捉成影像;二次传送步骤(S60),其中在捕捉所述压痕影像的同时产生的捕捉信号附加到PLC控制部(4),将放置有部件材料(5)的检查台(7)传送到二次检查位置;压痕影像检查步骤(S70),其中将放置有部件材料(5)的检查台(7)传送到二次检查位置的同时捕捉的压痕影像,进行算法检查;反复检查步骤(S80),其中在所述传送检查台(7)的同时,如果传送位置为不是最终检查位置时,通过所述一次传送步骤(S40),反复检查压痕影像;结束检查步骤(S90),其中在所述传送检查台(7)的同时,如果传送位置为最终检查位置时,结束压痕影像检查,将放置在检查台(7)上的部件材料(5)排出,结束检查。
地址 韩国首尔