| 发明名称 | 研磨垫及研磨装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨垫及研磨装置，其在谋求研磨垫的长寿命化和提高面内均匀性的同时，可以防止被研磨物贴附在研磨垫上。所述研磨垫包括：一面为研磨面(22)、另一面为支持面(23)的板状的垫主体(21)；以及多个孔部(30)，该孔部由多个长孔(31)组合而成，所述长孔(31)是从研磨面(22)至支持面(23)贯通该垫主体(21)、并沿研磨面(22)的面方向中的多个不同方向延伸设置而成的。 | ||
| 申请公布号 | CN1943993A | 申请公布日期 | 2007.04.11 |
| 申请号 | CN200610129056.2 | 申请日期 | 2006.09.05 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 中畑政臣 |
| 分类号 | B24D17/00(2006.01);B24B29/02(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | B24D17/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈建全 |
| 主权项 | 1.一种研磨被研磨物的研磨垫，其特征在于，该研磨垫包括：一面为研磨面、另一面为支持面的板状的垫主体；以及多个孔部，该孔部由多个长孔组合而形成，所述长孔是从所述研磨面至所述支持面贯通所述垫主体、并沿所述研磨面的面方向中的多个不同方向延伸设置而成的。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||