| 发明名称 | 光刻用冲洗液 | ||
| 摘要 | 本发明是提供一种可将接触角40度以下的容易润湿的抗蚀图案表面改质成接触角70度以上，可有效防止图案崩溃，制造高品质制品的新颖冲洗液。该冲洗液包含下述溶液，所述溶液含有选自通式(I)(式中的R<SUP>1</SUP>及R<SUP>2</SUP>是各自氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～5的烷基或取代烷基，R<SUP>1</SUP>与R<SUP>2</SUP>可以相互连接并与和两者结合的SO<SUB>2</SUB>及N一同形成五员环或六员环)、通式(II)(式中的R<SUB>f</SUB>是氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳数1～5的烷基或取代烷基，m及n是整数2或3)、或通式R<SUB>f</SUB>’－COOH(式中的R<SUB>f</SUB>’是碳数8～20且至少一部分被氟化的烷基)表示的水或醇溶剂可溶性氟化合物中的至少一种。 | ||
| 申请公布号 | CN1947066A | 申请公布日期 | 2007.04.11 |
| 申请号 | CN200580012689.9 | 申请日期 | 2005.04.20 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 越山淳;胁屋和正;金子文武;宫本敦史;田岛秀和;泽田佳宏 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/32(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种光刻用冲洗液，其包含下述溶液，所述溶液含有选自通式[化学式1](式中的R1及R2是各自氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～5的烷基或取代烷基，R1与R2可以相互连接并和与两者结合的SO2及N一同形成五员环或六员环)、通式[化学式2](式中的Rf是氢原子的一部分或全部被氟原子取代的碳原子数为1～5的烷基或取代烷基，m及n是整数2或3)、或通式Rf’-COOH (式中的Rf’是碳原子数为8～20且至少部分被氟化的烷基)表示的水或醇类溶剂可溶性氟化合物中的至少一种。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||