| 发明名称 | 被处理体的输送方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有包含对被处理体进行易产生污染的特定处理室的多个处理室，和具有2个拾取器的输送机构的处理装置中的被处理体的输送方法，本发明的方法具有在所述多个处理室之间穿行地顺序输送被处理体的多个输送工序，在把所述被处理体搬入所述特定处理室前为止的输送工序，用所述2个拾取器一方拾取器进行，在把所述被处理体搬入所述特定处理室的输送工序及其以后的该被处理体的输送工序用所述2个拾取器的另一拾取器进行。 | ||
| 申请公布号 | CN1310302C | 申请公布日期 | 2007.04.11 |
| 申请号 | CN03816556.2 | 申请日期 | 2003.09.19 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 石泽繁;堀毛英史 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/285(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1、一种被处理体的输送方法，是在处理装置中的被处理体的输送方法，该处理装置具有：包含对被处理体进行容易产生污染的处理的特定处理室的多个处理室；和具有2个拾取器的输送机构，该输送方法的特征为，具有在所述多个处理室之间穿行地顺序输送被处理体的多个输送工序，在把所述被处理体搬入所述特定处理室之前为止的输送工序用所述2个拾取器中的一方的拾取器进行，在把所述被处理体搬入所述特定处理室的输送工序及其以后的该被处理体的输送工序用所述2个拾取器的另一方的拾取器进行。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||