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发明名称 THIN WAFER CARRIER
摘要
申请公布号 EP1414719(A4) 申请公布日期 2007.04.11
申请号 EP20020752306 申请日期 2002.07.12
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 SIMPSON, ANTHONY;WISEMAN, BRIAN
分类号 B65D85/86;H01L21/68;B65D25/10;B65D85/30;H01L21/673 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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