发明名称 THERMAL PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20070038335(A) 申请公布日期 2007.04.10
申请号 KR20050093549 申请日期 2005.10.05
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG NAM
分类号 H01L21/324;H01L21/02 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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