发明名称 METHOD FOR PATTERN INSPECTION
摘要
申请公布号 KR20070038580(A) 申请公布日期 2007.04.10
申请号 KR20077006872 申请日期 2007.03.26
申请人 TOKYO SEIMITSU CO., LTD.;ACCRETECH (ISRAEL) LTD. 发明人 GESHEL MARK;SHMUELI NIV;FRIEDMANN GIDEON;BREGMAN AMITAI ORNA
分类号 G01N21/956;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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