LIGHT SOURCE HAVING BREWSTER PLATE POLARIZER IN THE IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS,申请号KR20050093570-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	LIGHT SOURCE HAVING BREWSTER PLATE POLARIZER IN THE IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号	KR20070038347(A)	申请公布日期	2007.04.10
申请号	KR20050093570	申请日期	2005.10.05
申请人	HYNIX SEMICONDUCTOR INC.	发明人	CHO, BYEONG HO
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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