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发明名称 PROBE SHEET ADHESIVE HOLDER, PROBE CARD, SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070038410(A) 申请公布日期 2007.04.10
申请号 KR20060094797 申请日期 2006.09.28
申请人 RENESAS TECHNOLOGY CORP. 发明人 KASUKABE SUSUMU;SHOJI DERUO;HASEBE AKIO;DEGUCHI YOSHINORI;NARIZUKA YASUNORI
分类号 G01R1/06;G01R1/067 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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