| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING GRAY TONE MASK AND GRAY TONE MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070038493(A) |
申请公布日期 |
2007.04.10 |
| 申请号 |
KR20070029448 |
申请日期 |
2007.03.26 |
| 申请人 |
HOYA CORPORATION |
发明人 |
IMURA KAZUHISA;SANO MICHIAKI |
| 分类号 |
G02F1/13;G02F1/1368;G03F1/54;G03F1/70;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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