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经营范围
发明名称
WAFER CHUCKING FOR PLASMA PROCESS APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100707996(B1)
申请公布日期
2007.04.09
申请号
KR20060055537
申请日期
2006.06.20
申请人
KIM, JEONG TAE
发明人
KIM, JEONG TAE
分类号
H01L21/205;H01L21/203;H01L21/3065
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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