发明名称 WAFER CHUCKING FOR PLASMA PROCESS APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100707996(B1) 申请公布日期 2007.04.09
申请号 KR20060055537 申请日期 2006.06.20
申请人 KIM, JEONG TAE 发明人 KIM, JEONG TAE
分类号 H01L21/205;H01L21/203;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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