CLEANING SHEET AND PROCESS FOR CLEANING SUBSTRATE TREATMENT DEVICE,申请号KR20047009584-传众专利搜索

发明名称	CLEANING SHEET AND PROCESS FOR CLEANING SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号	KR100704090(B1)	申请公布日期	2007.04.05
申请号	KR20047009584	申请日期	2002.10.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;B08B7/00;C11D3/37;C11D17/04	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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