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发明名称
Thermal optical chuck
摘要
An accessible optical path to a lower surface of a heatable device under test is provided by a thermal optical chuck comprising a transparent resistor deposited on transparent plate arranged to supporting the device in a probe station.
申请公布号
US2007075724(A1)
申请公布日期
2007.04.05
申请号
US20060607331
申请日期
2006.12.01
申请人
CASCADE MICROTECH, INC.
发明人
RUMBAUGH SCOTT
分类号
G01R31/26;G01R1/04;G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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