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发明名称 AUSFORMUNGSMETHODE VON DÜNNSCHICHT-TRANSISTOREN AUF KUNSSTOFFSUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE69735815(T2) 申请公布日期 2007.04.05
申请号 DE1997635815T 申请日期 1997.03.05
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 CAREY, G.;SMITH, M.;SIGMON, W.;ACEVES, C.
分类号 H01L21/268;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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