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发明名称 HANGING TYPE DOUBLE LAYER CLEAN ROOM STRUCTURE FOR MICRO-VIBRATION CONTROL OF SEMICONDUCTOR, LCD, ETC. FABRICATION BUILDINGS
摘要
申请公布号 KR100706870(B1) 申请公布日期 2007.04.05
申请号 KR20060008628 申请日期 2006.01.27
申请人 KIM, JAE WON 发明人 KIM, JAE WON
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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