| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft mikrooptische Beugungsgitter für elektromagnetische Strahlung und ein für die Herstellung geeignetes Verfahren. Die erfindungsgemäßen Beugungsgitter können insbesondere für den Einsatz als Mikrospektrometer genutzt werden, die dabei in Form von scannenden Mikrogittern einsetzbar sind. Gemäß der gestellten Aufgabe sollen sie mit verbesserter Oberflächentopologie zur Verfügung gestellt und kostengünstig und in hohen Stückzahlen hergestellt werden können. Bei den erfindungsgemäßen Beugungsgittern ist an einer Oberfläche eines Substrates (1) eine Oberflächenstruktur, die aus äquidistant angeordneten, parallel zueinander ausgerichteten linienförmigen Strukturelementen (2) gebildet ist, ausgebildet. Außerdem ist die gesamte Oberfläche des Substrates und der Strukturelemente mit mindestens einer weiteren Schicht (3, 4, 5) beschichtet, die eine gleichmäßige sinusförmige in Wellenform konturierte Oberfläche mit alternierend angeordneten Wellenbergen und Wellentälern bildet. Bei Reflexionsgittern kann zusätzlich eine reflektierende Schicht aufgebracht werden, um die Intensität reflektierter Strahlung zu erhöhen.</p> |
