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发明名称 Interferometrische Analyse eines optischen Bauteils mittels orthogonalem Filter
摘要
申请公布号 DE60218250(D1) 申请公布日期 2007.04.05
申请号 DE2002618250 申请日期 2002.07.22
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES INC. (N.D. GES. D. STAATES DELAWARE) 发明人 SZAFRANIEC, BOGDAN;VANWIGGEREN, GREGORY D.;MOTAMEDI, ALI
分类号 G01J9/04;G01M11/00;G01B9/02;G01M11/02 主分类号 G01J9/04
代理机构 代理人
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