发明名称 |
Verfahren zur Verfüllung von Isolationsgräben unter Nutzung von CMOS-Standardprozessen zur Realisierung dielektrisch isolierter Gebiete auf SOI Scheiben |
摘要 |
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申请公布号 |
DE102004005804(B4) |
申请公布日期 |
2007.04.05 |
申请号 |
DE200410005804 |
申请日期 |
2004.02.06 |
申请人 |
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG |
发明人 |
FREYWALD, KARLHEINZ |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/764;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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