| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE, AND INJECTION HEAD USED IN THE APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100706666(B1) |
申请公布日期 |
2007.04.05 |
| 申请号 |
KR20060047217 |
申请日期 |
2006.05.25 |
| 申请人 |
SEMES CO., LTD. |
发明人 |
KIM, HYUN JONG;AHN, YOUNG KI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/02;H01L21/3063 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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