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发明名称 OXIDATION TREATMENT APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR100706790(B1) 申请公布日期 2007.04.05
申请号 KR20050116482 申请日期 2005.12.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HWANG, KI HYUN;CHUNG, U IN;SHIN, YU GYUN;AHN, JAE YOUNG;KIM, JIN GYUN
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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