发明名称
摘要
申请公布号 JP2007508698(A) 申请公布日期 2007.04.05
申请号 JP20060534260 申请日期 2004.10.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
地址