VERWENDUNG VON UNTER ATMOSPHÄRISCHEM DRUCK ERZEUGTEN DICHTEN PLASMEN ZUR BEHANDLUNG VON ABGASEN,申请号DE20026018305-传众专利搜索

发明名称	VERWENDUNG VON UNTER ATMOSPHÄRISCHEM DRUCK ERZEUGTEN DICHTEN PLASMEN ZUR BEHANDLUNG VON ABGASEN
摘要
申请公布号	DE60218305(D1)	申请公布日期	2007.04.05
申请号	DE20026018305	申请日期	2002.05.21
申请人	L'AIR LIQUIDE, S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE;AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS	发明人	ROSTAING, JEAN-CHRISTOPHE;GUERIN, DANIEL;LARQUET, CHRISTIAN;LY, CHUN-HAO;MOISAN, MICHEL;DULPHY, HERVE
分类号	C23C16/44;H05H1/30;B01D53/32;B01D53/68;B01D53/70;B01J19/08;B01J19/12;H01L21/205;H01L21/3065	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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