| 发明名称 | 抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 一种辐射敏感性组合物，该组合物含有抗蚀剂化合物A、酸生成剂B和酸交联剂C。抗蚀剂化合物A为(a)由C<SUB>5－45</SUB>芳族酮或芳族醛与具有1－3个酚性羟基的C<SUB>6－15</SUB>化合物缩合制得的多元酚化合物，(b)分子量为300－5000。该辐射敏感性组合物是溶剂可溶性的，并显示出高敏感性、高分辨率和高耐热性。 | ||
| 申请公布号 | CN1942825A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200580011270.1 | 申请日期 | 2005.04.14 |
| 申请人 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 发明人 | 越后雅敏;小黑大 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/038(2006.01) |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周建秋;王凤桐 |
| 主权项 | 1、一种辐射敏感性组合物，该组合物含有抗蚀剂化合物A、酸生成剂B，和酸交联剂C，其中：所述抗蚀剂化合物A为由C5-45芳族酮或C5-45芳族醛与具有1-3个酚性羟基的C6-15化合物缩合制得的、分子量为300-5000的多元酚化合物；并且所述酸生成剂B经选自由可见光、紫外线、受激准分子激光、电子束、极紫外线(EUV)、X-射线和离子束所组成的组中的射线辐射后直接或间接生成酸。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||