发明名称 STRAINED SILICON-ON-INSULATOR BY ANODIZATION OF A BURIED P+ SILICON GERMANUM LAYER
摘要
申请公布号 KR20070037483(A) 申请公布日期 2007.04.04
申请号 KR20077000058 申请日期 2005.05.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ADAM THOMAS N;BEDELL STEPHEN W.;DE SOUZA JOEL P.;FOGEL KEITH E.;REZNICEK ALEXANDER;SADANA DEVENDRA K.;SHAHIDI GHAVAM
分类号 H01L27/12;H01L21/20;H01L21/762 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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