用于控制施加于等离子体发生器中静电屏的电压的装置及方法

摘要

一种用于控制施加于一屏蔽的电压的装置，其中该屏蔽置于通过一匹配网络由电源提供动力的感应线圈与所发生的该等离子体之间，该装置包括屏蔽、第一反馈电路以及第二反馈电路。该电源为该屏蔽提供动力。该第一反馈电路与该感应线圈相连用来控制该电源。该第二反馈电路与该屏蔽相连用来控制该屏蔽的电压。第一反馈电路与第二反馈电路两者均工作于不同的频率范围。该第一反馈电路进一步包括第一控制器以及第一传感器。该第一传感器将表示提供给该感应线圈的该功率的第一信号发送给该第一控制器。该第一控制器调整该电源使得提供给该感应线圈的该功率由第一调整点所控制。该第二反馈电路进一步包括第二传感器、第二控制器以及可变阻抗网络。该屏蔽通过可变阻抗网络来提供动力。该第二传感器将表示该屏蔽的该电压的第二信号发送给该第二控制器。该第二控制器调整该可变阻抗网络使得该屏蔽的该电压由第二调整点所控制。

主权项

1.一种用于控制施加于一屏蔽的电压的装置，该屏蔽置于通过一匹配网络由电源提供动力的感应线圈与所发生的该等离子体之间，该装置包括：由该电源提供动力的屏蔽，所述屏蔽耦合到具有可变阻抗网络的感应线圈；与该感应线圈相连用于控制该电源的第一反馈电路，其中该第一反馈电路进包括第一控制器；以及与所述屏蔽相连用于控制该屏蔽的电压的具有所述可变阻抗网络的第二反馈电路，其中该第二反馈电路包括第二控制器。