| 发明名称 | 形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线的方法 | ||
| 摘要 | 一种形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线的方法被揭示，包含于一含有金属离子及纳米碳管的电镀浴中对一表面具有一导电基线的基材进行电镀，于是在该导电基在线形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线。本发明亦揭示另一种形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线的方法，包含准备一纳米碳管的分散液，其包含一有机溶剂及分散于该有机溶剂的纳米碳管；将该纳米碳管的分散液印刷于一基材的一表面，及从该表面挥发移除该有机溶剂，而形成一导电基线；及于一含有金属离子的电镀浴中对该表面进行电镀，于是在该导电基在线形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线。 | ||
| 申请公布号 | CN1941289A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200510105212.7 | 申请日期 | 2005.09.26 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 骆伯远;魏拯华;陈百宏;江日舜;黄建良;高明哲 |
| 分类号 | H01L21/288(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L23/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/288(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 李柏 |
| 主权项 | 1.一种形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线的方法，包含于一含有金属离子及纳米碳管的电镀浴中对一表面具有一导电基线的基材进行电镀，于是在该导电基在线形成纳米碳管与金属复合材料的电镀互连导线。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县竹东镇中兴路四段195号 | ||